永城高純氮?dú)獾纳膳c用途體現(xiàn)在哪些方面
發(fā)布時(shí)間:2018/6/14 16:24:06
氮?dú)獾氖褂迷谏钪惺呛艹R姷模覀兇蠹沂熘钠囕喬怏w一般都會(huì)用氮?dú)鈦硖畛洌莱歉呒兊獨(dú)獾氖褂门c生成具體體現(xiàn)在什么方面呢,我們可以一起來了解一下:
高純氮?dú)庵饕\(yùn)用在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運(yùn)載氣,化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣,液體擴(kuò)散源的攜帶氣,在高溫?cái)U(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮?dú)饧兌葹?9.99%以上。在***技術(shù)中,液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換,再用高純氦置換。
高純氮?dú)猬F(xiàn)場(chǎng)生產(chǎn)裝置采用低溫工藝流程,生產(chǎn)過程中將有冷量損失,有的高純氮?dú)馍a(chǎn)裝置為此配備了氣體膨脹機(jī)產(chǎn)生低溫以補(bǔ)償冷量損失;有的高純氮?dú)馍a(chǎn)裝置雖然采用的仍是低溫精餾流程,但摒棄了補(bǔ)償冷量的機(jī)械設(shè)備膨脹機(jī),取而代之的是采用外部的液氮直接補(bǔ)償?shù)乃璧牡蜏睾俊?/p>
這種無膨脹機(jī)的高純氮?dú)馍a(chǎn)裝置因減少了機(jī)械故障而提高了裝置運(yùn)行的可靠性。無膨脹機(jī)的高純氮?dú)馍a(chǎn)裝置的液氮補(bǔ)充量約占高純氮?dú)猱a(chǎn)量的3%左右 整套高純氮?dú)猬F(xiàn)場(chǎng)生產(chǎn)裝置除了空氣壓縮機(jī)、熱部、冷箱之外,還有一個(gè)重要的部分即液氮(或高純液氮)系統(tǒng)。這個(gè)液氮(或高純液氮)系統(tǒng)有三個(gè)功能;可補(bǔ)償生產(chǎn)過程中的冷損;用氣量的調(diào)峰,氮?dú)馍a(chǎn)裝置停機(jī)是產(chǎn)品氣的備用。
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